超短脉冲激光微纳加工

超短脉冲激光微纳加工技术是微纳制造领域的科研热点，是解决”中国芯”短缺问题的核心技术之一。团队现拥有先进激光微纳加工平台，包括飞秒和皮秒激光器、扫描振镜、高斯透镜、贝塞尔透镜、精密位移平台、PLD等设备。团队前期研究了锂电池电极材料的超短脉冲微细加工机理，完成了企业项目1项。目前团队主要研究方向有：超短脉冲激光与硬脆材料（蓝宝石、碳化硅等）相互作用的损伤机理、工艺与装备开发，微磨削-超短脉冲激光复合切割机理与工艺等。目前承担国家重点研发计划1项。

飞秒激光切割锂电池极片

超快激光切割蓝宝石

微磨削-超快激光复合切割碳化硅